TOPCon太阳能电池的制造工艺流程有哪些？ 全球今热点

TOPCon太阳能电池的制造工艺流程有哪些？TOPCon工艺流程共计有9步：制造背场、清洁晶圆、生长n-a-Si层、制造P型衬底、生长P型层、制造M面、制造topcon电池的背面、钝化、分离。

制造背场：使用氢氧化钾（KOH）去除c-Si晶片切割过程中的锯损伤，然后使用扩散法在电池正面形成一层三溴化硼（BBr）。

【资料图】

清洁晶圆：使用湿化学法去除背面的三溴化硼，并通过施加硝酸和氢氟酸（HF/HNO）去除背面的杂质，最后通过湿化学浸渍产生超薄氧化层。

生长n-a-Si层：通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺生长磷掺杂的非晶硅（n-a-Si：H）层，然后在900oC退火后将其转化为nPoly-Si层。

制造P型衬底：使用氧化硅（SiOx）或氮化硅（SiNx）等材料制造P型衬底，作为下一步生长n-a-Si层的支撑。

生长P型层：在P型衬底上使用氧化还原法生长一层高质量的n-a-Si层，厚度约为100-200纳米。

制造M面：在n-a-Si层上使用电化学沉积工艺制造一层金属铝（Al）涂层，作为topcon电池的正面金属接触面。

制造topcon电池的背面：在电池背面使用水氧化物（H2O）或氢氧化物（OH）等材料，通过施加电压形成一层透明导电膜。

钝化：使用湿化学法在topcon电池背面形成一层钝态薄膜，以增加电池的循环寿命。

分离：将topcon电池从衬底上分离，并进行检测和分选。

以上就是TOPCon9步工艺流程共：制造背场、清洁晶圆、生长n-a-Si层、制造P型衬底、生长P型层、制造M面、制造topcon电池的背面、钝化、分离。希望能给你带来帮助。